所屬系列：ZJYQ-HYYQDZ-OLYMPUS
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300mm晶圓自動搬送機AL120-12簡介：
AL120-12晶圓搬送機對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。
n人機工程學(xué)設(shè)計，操作方便
=可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。
=分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。
n堅固、可靠和安全傳送
=延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
=薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。
=宏觀觀察位置的優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。
300mm晶圓自動搬送機AL120-12技術(shù)規(guī)格：
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自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12 規(guī)格 |
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AL120-LMB12-LP3 |
AL120-LMB12-F |
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晶圓尺寸 |
300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm |
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卡盒 |
●FOUP（Front Opening
Unified Pods）前開門標(biāo)準(zhǔn)夾 |
●FOSB（Front Opening
Shipping Box）前開門搬運盒 |
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卡盒數(shù) |
單盒（裝載、卸載兼用） |
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卡盒設(shè)置高度 |
900 mm |
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裝載端口 |
有 |
無 |
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搬運順序 |
表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查 |
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檢查模式 |
全部檢查、抽樣檢查 |
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晶圓校準(zhǔn) |
非接觸式中心環(huán) |
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晶圓搬運方式 |
真空吸附機械搬運 |
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適用顯微鏡 |
半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L |
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應(yīng)用環(huán)境 |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz |
AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz |
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載物臺 |
XY手動吸附載物臺，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機構(gòu) |
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重量（不包括顯微鏡） |
約360 kg |
約270 kg |
